Proteus

Proteus

Unerreichte Emissionsminderungsleistung

Edwards Proteus ermöglicht die effektive Behandlung von PFC und anderen Treibhausgasen ohne den Einsatz von Erdgas oder anderen Kohlenwasserstoffen.

Edwards Proteus

Proteus ist eine benutzerfreundliche und kosteneffiziente Lösung mit geringem Stromverbrauch, um den CO2-Fußabdruck der Halbleiterfertigung zu reduzieren.

Eine einzigartige, energiesparende Plasmatechnologie, die eine hohe Zerstörungsrate (DRE) von PFC-Gasen wie CF4 und anderen Treibhausgasen wie SF6, NF3 und N2O erreicht. Dies macht Proteus zu einer der kosteneffektivsten Lösungen für die Beseitigung von Treibhausgasen aus Halbleiterherstellungsprozessen.
Die Betriebsleistung von Proteus Plasma ist in Abhängigkeit von der eingehenden Gaslast vollständig einstellbar, so dass der Benutzer den Stromverbrauch minimieren und gleichzeitig eine optimale Behandlungseffizienz beibehalten kann. Die Kopplung mit dem Prozesswerkzeug und die automatische Plasmaleistungsmodulation bieten weitere Möglichkeiten zur Senkung der Betriebskosten bei gleichzeitiger Beibehaltung der höchsten Umweltleistung.
Die Abscheidung von PFC-Gasen erfordert hohe Temperaturen, die die Bildung von NOx-Gasen fördern. Die Proteus-Plasmatechnologie wurde entwickelt, um die "thermischen NOx"-Emissionen zu minimieren und gilt heute als eines der führenden "Low NOx"-PFC-Reduktionssysteme.
Die Zerstörung der PFC-Moleküle erhöht tendenziell die Säurebelastung durch die Bildung giftiger und korrosiver wasserlöslicher Verbindungen. Die Proteus-Plasmabrenner und Nassreinigungsstufen wurden speziell entwickelt, um die Korrosion der Komponenten zu minimieren. In Verbindung mit einer hervorragenden Pulverhandhabung kann Proteus lange MTBS erreichen und gleichzeitig eine sichere Arbeitsumgebung in der Fabrik aufrechterhalten.
Proteus Dual ist eine vollständig integrierte "Backup"-Lösung, die die Verfügbarkeit von Abluftanlagen ohne komplizierte Verrohrung und Schnittstellen sicherstellt. Proteus Dual ist eine kostengünstige, einfach zu installierende Lösung. Sie trägt dazu bei, die Betriebszeit des Prozesses aufrechtzuerhalten, den Platzbedarf und die Installationskosten zu reduzieren und gleichzeitig die Sicherheit der Unteranlage zu erhöhen.

Komponenten

Komponenten

Unerreichte Emissionsminderungsleistung

Edwards Proteus

Offizieller Schweizer Vertriebspartner von