BGV-Absperrschieber sind faltenbalggedichtete Edelstahlschieber für Anwendungen, die eine hohe Dichtheit und ein Minimum an Kohlenwasserstoffen im Vakuumsystem erfordern. Obwohl sie hauptsächlich für die Isolierung von Pumpen in der Halbleiterfertigung entwickelt wurden, eignen sich BGV-Absperrschieber auch ideal für andere Anwendungen, bei denen eine Differenz von 1 bar beim Öffnen erwünscht ist.
Sie sind für den Einsatz im Druckbereich von 1,2 bar absolut bis 1 x 10-8 mbar (1,2 x 105 bis 1×10-6 Pa) ausgelegt. BGV-Absperrventile halten 1,2 bar absolut in beiden Richtungen aus, so dass die Vakuumleitung über der Pumpe bei geschlossenem Ventil entlüftet werden kann. Die manuellen BGV-Ventile haben eine visuelle Anzeige der Schieberstellung an der Seite der Baugruppe, um zu zeigen, wann sie geöffnet ist.
Der pneumatische Schieber BGV Mk3 funktioniert auf die gleiche Weise wie der manuelle Schieber. Der pneumatische Schieber verfügt jedoch über Reed-Schalter, die von Ihrer Steuerausrüstung verwendet werden können, um festzustellen, ob der Schieber offen oder geschlossen ist.
Jedes BGV Mk3 Pneumatikventil ist mit einem 24 V Gleichstrommagneten und einem vorverdrahteten Stecker für den direkten Anschluss an Ihre Edwards Vakuumpumpe der neuesten Generation (iHH, iXL, iXM und GXS) ausgestattet. Dieser 15-polige D-Sub-Stecker bietet einen einzigen Anschlusspunkt sowohl für die Stromversorgung des Magneten als auch für die Aktivierung der LEDs der Reedschalter-Positionsanzeigen. Das 15-polige „D“-Steckerkabel und die Positionsanzeigen für den Reedschalter werden optional mit den BGV-Ventilen geliefert. Die Länge des Kabels beträgt jedoch nur etwa 50 cm und ein längeres Verlängerungskabel ist für den Anschluss an eine Pumpe oder eine lokale Steuerung erforderlich.
Um das BGV Mk3 Pneumatikventil an Edwards Legacy-Produkte anzuschließen, sollte das BGV Mk2 TIM-Schnittstellenkabel verwendet werden. Die Funktionalität der LEDs steht bei älteren Produkten (iGX, GX oder iQ und iH über das iTIM-Modul) nicht zur Verfügung, da die Pumpen keine 24 V DC-Spannung zur Aktivierung der LEDs liefern. Die Grundfunktion der Ventilstellungsanzeige funktioniert jedoch für das Öffnen und Schließen, da keine Stromversorgung erforderlich ist und sie durch das Magnetfeld ausgelöst wird.
Der einfache, aber innovative Keildichtungsmechanismus mit PEEK-Gleitern macht das Ventil besonders geeignet für Anwendungen mit einem hohen Anteil von Prozessnebenprodukten im Gasstrom:
BGV LOTO Pneumatikschieber bieten alle Vorteile der BGV-Standardbaureihe, mit LOTO-Sicherheitsfunktion und geringem Stromverbrauch.
BGV LOTO-Absperrventile sind faltenbalggedichtete Edelstahl-Absperrventile für den Einsatz in Anwendungen, die eine hohe Dichtigkeit und ein Minimum an Kohlenwasserstoffen im Vakuumsystem erfordern. Obwohl die BGV-Ventile in erster Linie für die Isolierung von Pumpen in der Halbleiterfertigung entwickelt wurden, eignen sie sich auch ideal für andere Anwendungen, bei denen eine Differenz von 1 bar beim Öffnen erwünscht ist.
Der einzigartige Lock-Out-Tag-Out (LOTO) Sicherheitsmechanismus ermöglicht es dem Personal, frei am Vakuumsystem zu arbeiten, ohne befürchten zu müssen, dass sich das Ventil versehentlich öffnet. Das Ventil wird mit einem Stift physisch geschlossen gehalten, um das Ventil zu verriegeln und ein Öffnen zu verhindern. Wenn das Ventil verriegelt werden muss, kann ein Sperrriegel durch den LOTO-Stift gesteckt und mit einem Vorhängeschloss gesichert werden.
Sie sind für den Einsatz im Druckbereich von 1,2 bar absolut bis 1 x 10-9 mbar (1,2 x 105 bis 1×10-7 Pa) ausgelegt. BGV-Ventile halten 1,2 bar absolut in jeder Richtung aus, so dass die Vakuumleitung über der Pumpe bei geschlossenem Ventil belüftet werden kann.
Der niedrige Leistungsbedarf von nur 1 W ermöglicht den direkten Anschluss an Edwards Trockenpumpen der neuesten Generation ohne zusätzliche externe Stromversorgung und erleichtert die einfache „Plug and Play“-Installation.
Reed-Schalter können von Ihren Steuergeräten verwendet werden, um festzustellen, ob das Ventil offen oder geschlossen ist. Diese Ventile enthalten auch LEDs zur visuellen Anzeige der Ventilposition. Jedes Ventil ist mit einem 24V-Gleichstrommagneten und einem vorverdrahteten Stecker für den direkten Anschluss an Ihre Edwards-Vakuumpumpe der neuesten Generation ausgestattet. Dieser 15-polige „D“-Stecker bietet einen einzigen Anschlusspunkt sowohl für die Stromversorgung des Magneten als auch für das Signal der Reedschalter-Positionsanzeigen.Das 15-polige „D“-Steckerkabel und die Reedschalter-Positionsanzeigen werden optional mit den BGV-Ventilen geliefert. Die Länge des Kabels beträgt jedoch etwa 50 cm und für den Anschluss an eine Pumpe oder eine lokale Steuerung ist ein längeres Verlängerungskabel erforderlich.
Um das BGV LOTO Pneumatikventil an Edwards Legacy-Produkte anzuschließen, sollte das BGV TIM Schnittstellenkabel verwendet werden. Die Funktionalität der LEDs steht bei älteren Produkten nicht zur Verfügung, da die Pumpen keine 24 V Gleichstromversorgung zur Aktivierung der LEDs liefern.
Der einfache, aber innovative Keildichtungsmechanismus mit PEEK-Gleitern macht das Ventil besonders geeignet für Anwendungen mit einem hohen Anteil von Prozessnebenprodukten im Gasstrom:
Das pneumatische BGV LOTO-Ventil kann direkt an unsere neueste Generation von trockenen Vakuumpumpen angeschlossen werden und bietet somit volle Funktionalität. Zu den Produkten der neuesten Generation gehören: iXH, iXL, iXM und GXS Pumpen.
Um das BGV LOTO Pneumatikventil an unsere älteren Produkte anzuschließen, sollte das BGV Mk2 TIM Schnittstellenkabel verwendet werden. Zu den älteren Produkten gehören: iGX, GX (oder iQ und iH über das iTIM-Modul) Pumpen.
Das GV-Sortiment an faltenbalggedichteten Schieberventilen aus Edelstahl wurde für Anwendungen entwickelt, die eine umfassende Dichtheit und ein Minimum an Kohlenwasserstoff in der Restatmosphäre erfordern.
Diese hochwertigen Ventile bieten eine hohe Vakuumintegrität in Verbindung mit maximaler Leitfähigkeit. Die Ventile sind mit den Flanschoptionen ISO, CF (metallisch abgedichtet) für Anwendungen im Ultrahochvakuum erhältlich, die höhere Ausheiztemperaturen erfordern.
Die Ventilkörper aus Edelstahl werden vakuumgelötet, ein spezielles Verfahren, das ein Ausheizen bei 1100 ˚C beinhaltet. Dies schließt jede Möglichkeit von virtuellen Lecks aus und gewährleistet ein Produkt mit geringen Ausgasungseigenschaften.
Ein lasergeschweißter Faltenbalg aus Edelstahl dichtet den Antrieb effektiv vom Ventil ab. Das Konzept erleichtert die Wartung und ermöglicht es, den Schieber und den Gestängemechanismus zu entfernen, während das Ventil an Ort und Stelle verbleibt.
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