On-Board® IS Einstufig

Verbesserung des Vakuums

Um eine optimale Produktivität in einem breiten Spektrum von Vakuumprozessanwendungen zu erreichen, ist ein hohes Saugvermögen erforderlich. Die einstufigen Kryopumpen On-Board® IS von Edwards CTI-Cryogenics erhöhen das Saugvermögen von Turbopumpen beträchtlich und ermöglichen so erhebliche Fortschritte beim Systemdurchsatz und bei der Prozessproduktivität, ganz gleich, ob sie in Transfer-, Inline- oder Prozesskammeranwendungen eingesetzt werden.

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Steigern Sie Ihren Systemdurchsatz und Ihre Prozessproduktivität

Ein hohes Saugvermögen verbessert auch die Qualität des Endprodukts in vielen Vakuumprozessen, wodurch die Gesamtausbeute verbessert und sowohl der Abfall als auch die Produktionskosten deutlich gesenkt werden. On-Board® IS Einstufige Kryopumpen werden in einer Vielzahl von Konfigurationen entwickelt, um die meisten Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Sie sind sowohl als Inline- als auch als Insitu-Konfigurationen in einer Vielzahl von Größen erhältlich.

Wesentliche Merkmale

Pumpt mehr als 16.000 Liter Wasserdampf pro Sekunde, verbessert die Prozessqualität und verkürzt die Zykluszeit in einer Vielzahl von Anwendungen
Pumpt eine Vielzahl von Kohlenwasserstoffgasverunreinigungen und bietet eine fünf- bis zehnmal höhere Pumpgeschwindigkeit als Turbopumpen bei gleichzeitiger Reduzierung von Endproduktdefekten
Erhöht die Pumpendrehzahl der Turbopumpe für Wasserdampf um das Achtfache bei der Verwendung im lastabhängigen Transfer oder in der Prozesskammer
Geringere Vibrationen als bei den On-Board® Kryopumpen
Kostengünstiger Betrieb mit minimalem Platzbedarf, da kein großer, eng gekoppelter Kompressor erforderlich ist - er kann oft mit dem vorhandenen Heliumsystem betrieben werden
Erhältlich für Inline- oder Insitu-Konfigurationen in einer Vielzahl von Größen, um die Anforderungen der Benutzer zu erfüllen
Einfache Installation

Komponenten

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Wesentliche Merkmale

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