Das Spectra Abgasmanagementsystem ist eine kosteneffiziente, zuverlässige und leistungsstarke Abgasreinigungslösung für die neueste Generation von Flachbildschirm- (FPD) und Solarzellenherstellungsprozessen.
Spectra verbindet hohe Leistung mit einem guten Umweltgewissen
Minderung
Einzigartige 4-stufige Verbrennungstechnologie
Effiziente SiH4-Reduzierung
Hohe H2-Flussminderungskapazität
Hervorragendes Management von hohen NF3 / F2-Strömen
Hohe NH3-Minderungsleistung
Modularer Aufbau von Abgasreinigung und Feinstaubmanagement
80% Effizienz bei der Pulverentfernung
Wäsche von saurem Gas
Integrierter Nasswäscher
Wasserzirkulationseinheit zur Optimierung des Wasserverbrauchs
Pulver einfangen
Spectra ZW2 – wassergekühlte Abgasreinigungsanlage mit Partikelabscheidung
Modularer elektrostatischer Nassabscheider (WESP)
Entfernung von 99% der Partikel
Hohe Belastbarkeit mit Pulver
Niedrige Betriebskosten im Vergleich zu alternativen Lösungen
