Große Auswahl an Größen, Eingangsflanschen und Sonderausführungen
Industrie- und Laborkunden auf der ganzen Welt vertrauen auf das STP.
Außergewöhnliche 5-Achsen-Magnetschwebepumpenleistung ohne Kohlenwasserstoffschmierung
Automatische Auswuchtsysteme, korrosionsbeständige Versionen, Schutz vor Stromausfall
zwischen den Dienstleistungen können mit diesen Pumpen erreicht werden. Es ist keine routinemäßige oder vorbeugende Wartung erforderlich
Die Advanced-Serie bietet einen hohen Durchsatz, perfekt für Ihre Halbleiterätz- und CVD-Prozesse:
Die Ultra High Vacuum Low Vibration Version verfügt über alle Funktionen der Ultra High Vacuum Serie und zusätzlich über einen eingebauten Schwingungsisolator, um Ihnen eine extrem niedrige Vibrationsleistung zu bieten. nEXT wurde entwickelt, um die neuesten technologischen Fortschritte im Bereich der Turbomolekularpumpen zu vereinen. Mit Pumpengrößen von 55, 85, 240, 300, 400, 730, 925 und 1250 l/s Saugvermögen für Stickstoff bieten diese Pumpen dem Endverbraucher Servicefreundlichkeit und liefern ein wirklich klassenführendes Produkt.
Diese All-in-One-Turbo-Pumpenlösung macht das herkömmlich erforderliche Anschlusskabel und Gestell überflüssig:
Die Ultrahochvakuum-Serie bietet unübertroffene Zuverlässigkeit, Leistung, Sauberkeit und ein klassenführendes niedriges Vibrationsniveau:
Einheit | iX455 | iXR1606 | iXR1606 | iS2207 | iS2207 | iXA2206A | iXA3306C | iXA3306C | iXA4506C | |
Einlassflansch* | ||||||||||
ISO | 100K/160K | 160F | 200F/250F | 200F | 250F | 250F | 250F | 320F | 320F | |
ICF | – | 203 | 253/305 | 253 | 305 | 305 | 305 | 356 | – | |
Pumpendrehzahl | ||||||||||
N2 | l/s | 300/450 | 1000 | 1600 | 1850 | 2200 | 2200 | 2650 | 3200 | 4000 |
H2 | l/s | 300/460 | 800/ | 1200 | 700 | 750 | 1700 | 2050 | 2300 | 2700 |
Ar | l/s | – | – | – | 1650 | 2000 | 1900 | 2300 | 2800 | 3400 |
Verdichtungsverhältnis | ||||||||||
N2 | >108 | >108 | >108 | >108 | >108 | >108 | >108 | >108 | >108 | |
H2 | >1×104 | >1×104 | >1×103 | >1×103 | >1×103 | 1.0x104 | 2×103 | 2×103 | 1×103 | |
Ultimativer Druck | Pa | 6.5×10-6 | 6.5×10-6 | 10-7 | 10-7 | 10-7 | 10-7 | 10-7 | 10-7 | 10-7 |
+41 (0)32 926 26 06
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Jambe-Ducommun 19 – 2400 Le Locle