Sublimationspumpen aus Titan

UVH-XVH

Funktionieren, indem sie einen Titanfaden erhitzen und Titanmoleküle auf einer Oberfläche sublimieren (von der festen in die Gasphase übergehen). Die sublimierten Titanmoleküle können dann mit reaktiven Gasen wie Sauerstoff und Stickstoff chemisch reagieren und Wasserstoff dissoziieren und diffundieren. TSP können bei einem Druck von ^10-5 bis ^10-12 mbar arbeiten und haben eine Pumpgeschwindigkeit von über 10.000 l/s Wasserstoff.

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> 10.000 m3/h (H2)

TSPs können bei 10-5 bis 10-12 mbar arbeiten und haben ein Saugvermögen von über 10.000 m3/h Wasserstoff.

Unabhängig oder Kombiniert

Kann unabhängig oder in Kombination mit Ionenpumpen verwendet werden, um reaktive Gase aus der Vakuumumgebung zu entfernen

400°C

Alle TSP-Komponenten sind bis 400°C einbrennbar

Titan-Sublimationspumpen (TSP) werden oft in Kombination mit Ionenpumpen oder unabhängig davon eingesetzt, um reaktive Gase aus der Vakuumumgebung zu entfernen.

In Kombination mit einer Ionenpumpe ermöglicht die TSP niedrige Enddrücke in kürzerer Zeit. Alle TSP-Komponenten sind bis 400°C ausheizbar.

TSPs funktionieren, indem sie einen Titanfaden erhitzen und Titanmoleküle auf einer Oberfläche sublimieren (von der festen in die Gasphase übergehen). Die sublimierten Titanmoleküle stehen dann zur Verfügung, um mit reaktiven Gasen wie Sauerstoff und Stickstoff chemisch zu reagieren und Wasserstoff zu dissoziieren und zu diffundieren. TSPs können bei einem Druck von 10-5 bis 10-12 mbar arbeiten und haben eine Pumpgeschwindigkeit von über 10.000 m3h-1 Wasserstoff.

Ultrahochvakuumpumpe Hauptmerkmale HIGH

Mechanische Vibration eliminiert

Abscheidungspumpen haben keine beweglichen Teile. Vibrationen durch bewegliche Teile und elektrische Geräusche sind ausgeschlossen.

Hohe Strahlungstoleranz

Capture-Pumpen werden aus strahlenresistenten Materialien hergestellt, die mehr als 108 Gray aufweisen. Stecker und Kabel sind ebenfalls aus strahlenresistenten Materialien gefertigt und gewährleisten einen jahrelangen Dauerbetrieb.

Hohe Temperaturtoleranz

ohne besondere Rücksichtnahme können die Capture Pumps bis 250 °C gebacken werden. Wenn Sie die Magnete entfernen, können Sie noch heißere Temperaturen von bis zu 450 °C erreichen. Lange Heißbackzeiten sind für jedes UHV-System entscheidend

Regelmäßige Wartung entfällt

Abscheidungspumpen sind praktisch wartungsfrei und vermeiden kostspielige Vakuumereignisse, da sie von der Atmosphäre abgeschlossen sind, was Zeit, Geld und Ressourcen spart.

Niedrige anfängliche Betriebskosten

Die Anschaffungskosten sind in der Regel geringer als bei vergleichbaren Vakuumpumpen anderer Hersteller. Sie verbrauchen nur wenig oder gar keinen Strom und sind daher über Jahre hinweg kostengünstig zu betreiben.

Komponenten

Komponenten