Alle Turbomolekularpumpstationen von Edwards werden mit einem TIC-Turbo und einer Instrumentensteuerung geliefert, die es ermöglichen:
Alle unsere TIC-Turbomolekularpumpstationen sind mit nEXT-Turbomolekularpumpen ausgestattet, die bewährte Zuverlässigkeit und Wartungsfreundlichkeit für den Endbenutzer bieten. Die ölgedichteten Pumpen sind standardmäßig mit einem EMF-Nebelfilter ausgestattet und die nXDS-Trockenscroll-Pumpen verfügen standardmäßig über ein Absperrventil zwischen der Turbopumpe und der Vorpumpe.
| Einheit | nEXT85 | nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | |
| Einlassflansch | NW40 | ISO/CF63 | ISO/CF100 | ISO/CF100 | ISO/CF160 | |
| Pumpendrehzahl für N2 | l/s | 47 | 84 | 240 | 300 | 400 |
| Verdichtungsverhältnis für N2 | >1×1011 | >1×1011 | >1×1011 | >1×1011 | >1×1011 | |
| Drehzahl der Vorvakuumpumpe 50 Hz (nass) | m³/h | 5 – 12 | 5 – 12 | 5 – 12 | 5 – 12 | 5 – 12 |
| Drehzahl der Vorvakuumpumpe 50 Hz (trocken) | m³/h | 1.2 – 22 | 1.2 – 22 | 6 – 22 | 6 – 22 | 6 – 22 |
| Ultimatives Vakuum | mbar | <5×10-10 | <5×10-10 | <5×10-10 | <5×10-10 | <5×10-10 |
| Geräuschpegel bei Höchststand | dB(A) | <56 | <56 | <56 | <56 | <56 |
| Controller | TIC | TIC | TIC | TIC | TIC | |
| Optionen für Vorvakuumpumpen | nXDS / RV / XDD | nXDS / RV / XDD | nXDS / RV | nXDS / RV | nXDS / RV |
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