Ces cryochillers peuvent être utilisés pour capturer la vapeur d’eau et d’autres substances condensables en les congelant sur une surface froide telle qu’un cryocoil ou un déflecteur à chevrons. Les cryochillers MaxCool sont également utilisés pour refroidir et chauffer des objets tels que les mandrins électrostatiques utilisés dans le traitement des plaquettes de semi-conducteurs. Les différents modèles de notre gamme offrent une puissance de refroidissement de 2 000, 2 500 ou 4 000 watts.
La vapeur d’eau est généralement le contaminant le plus réactif présent dans les systèmes à vide poussé. Avec nos cryochillers MaxCool, vous pouvez vous attendre à une augmentation de 20 % à 100 % du débit de votre système existant et à une amélioration de la qualité du dépôt.
Lorsqu’ils sont ajoutés à votre système de vide, les cryochillers MaxCool peuvent réduire considérablement les temps de pompage et augmenter le débit des produits. Le MaxCool pompera de la vapeur d’eau dans les minutes qui suivent le démarrage et peut dégivrer en moins de quatre minutes, ce qui lui confère une véritable capacité de cycle rapide. Il dispose également d’une option appelée Rapid Cool to Cool, qui élimine la période d’attente après le dégivrage, ce qui permet à votre système d’effectuer plus de cycles de production par équipe. Utilisant les mélanges réfrigérants brevetés Polycold®, nos cryochillers MaxCool fonctionnent selon le principe du piégeage Meissner. La vapeur d’eau est capturée par condensation sur une surface refroidie par cryogénie, appelée bobine de Meissner. La bobine de Meissner (cryocoil) est montée directement dans la chambre à vide, de sorte que la conductivité n’est pas limitée par les orifices, les collecteurs, les vannes et les déflecteurs. Le cryocoil est facile à installer et peut être adapté à n’importe quel système. Il ne nécessite pas de vanne de vide poussé.
MaxCool 2000 | MaxCool 2500L | MaxCool 4000H | |
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Capacité de refroidissement maximale | 2,000 W | 2,500 W | 4,000 W |
Température à la capacité de refroidissement maximale | -111 °C | -120 °C | -98 °C |
Température la plus froide | -142 °C | -145 °C | -133 °C |
Pression de fonctionnement ultime (25 % de la vitesse de pompage maximale) | 3E-9 torr | 8E-10 torr | 5E-8 torr |
Surface typique d’un piège à froid | 1.1 m2 | 1.4 m2 | 2.2 m2 |
Vitesse maximale de pompage de la vapeur d’eau à partir d’une zone de piège à froid typique | 163 900 l/s | 208 600 l/s | 327 800 l/s |
Conservateur Surface maximale du piège à froid* | 1.5 m2 | 2.0 m2 | 2.8 m2 |
Consommation électrique (mode veille) | 5,5 kW | 11,4 kW | 12,0 kW |
Consommation électrique (mode froid, charge typique) | 6,2 kW | 13,9 kW | 12,4 kW |
Consommation électrique (mode froid, charge maximale) | 8,8 kW | 19,2 kW | 19,2 kW |
Débit d’eau de refroidissement pour 13 °C | 6,8 l/min | 15,1 l/min | 15,1 l/min |
Débit d’eau de refroidissement pour 18 °C | 9,1 l/min | 18,2 l/min | 18,2 l/min |
Débit d’eau de refroidissement pour 24 °C | 13,6 l/min | 27,3 l/min | 27,3 l/min |
Débit d’eau de refroidissement pour 29 °C | 27,6 l/min | 54,1 l/min | 54,1 l/min |
Conformité européenne PED | Oui | Oui | Oui |
Réfrigérants non toxiques | Oui | Oui | Oui |
Réfrigérants ininflammables | Oui | Oui | Oui |
+41 (0)32 926 26 06
info@plasmadiam.com
Jambe-Ducommun 19 – 2400 Le Locle