Le système de gestion des gaz d’échappement Spectra est une solution de réduction des émissions rentable, fiable et performante pour la dernière génération d’écrans plats (FPD) et de processus de fabrication de cellules solaires.
Spectra allie haute performance et conscience environnementale
Abattement
Technologie unique de combustion en 4 étapes
Réduction efficace du SiH4
Capacité élevée de réduction du flux de H2
Excellente gestion des flux élevés de NF3 / F2
Capacité élevée de réduction du NH3
Conception modulaire de la réduction et de la gestion des particules
80% d'efficacité dans l'élimination des poudres
Lavage des gaz acides
Laveur humide intégré
Unité de recirculation de l'eau pour optimiser la consommation d'eau
Capture de poudre
Spectra ZW2 – Réduction d’émissions refroidie à l’eau avec élimination des particules
