Un système de contrôle distribué breveté surveille et ajuste en permanence les éléments individuels du système de cryopompe afin de maintenir des performances de vide optimales à l’échelle du système pour une cohérence exceptionnelle du processus. Les cryopompes On-Board IS offrent le temps de fonctionnement le plus élevé, la meilleure productivité et le coût global de possession le plus bas de tous les systèmes de cryopompes disponibles aujourd’hui, soutenus par le réseau mondial de service et d’assistance très réactif d’Edwards.
La cryopompe On-Board® IS 320FX, développée spécifiquement pour répondre aux défis des processus d’implants ioniques d’aujourd’hui, offre une vitesse et une capacité de pompage de l’hydrogène améliorées, tout en conservant la qualité, les performances et la fiabilité que vous attendez.
La cryopompe On-Board® IS XP offre une capacité accrue pour les applications PVD afin d’atteindre une productivité maximale tout en maintenant la transparence du processus. En même temps, elle tire parti de l’efficacité énergétique éprouvée, des performances constantes et du faible coût de possession que vous attendez de la pompe On-Board® IS.
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